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300mm CPM TOOL
12寸半自動拋光設(shè)備
 
TLT300MP是根據(jù)當(dāng)前實(shí)驗(yàn)室客戶需求開發(fā)的實(shí)驗(yàn)用12英寸CMP設(shè)備。該設(shè)備擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù),配備性能優(yōu)越的拋光單元,兼容8/12英寸晶圓,適用于多種材質(zhì),可實(shí)現(xiàn)晶圓表面的超高平整度,工藝搭配靈活、滿足高精度制程技術(shù)需求。
  • 晶圓尺寸

    ≤12 inches

  • 晶圓材質(zhì)

    Si, SiC, GaN等

  • 拋光頭

    2

  • 拋光盤

    1

適應(yīng)各種領(lǐng)域的客戶需求
自由靈活應(yīng)用于半導(dǎo)體各領(lǐng)域的研發(fā)、小批量生產(chǎn)

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